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[리포트]쉽고 값싼 반도체 기판 생성법 개발
송고시간 | 2019/08/06 19:15



(앵커 멘트)
우리 주변에서 흔히 볼 수 있는 ‘거품’의 구조를 이용해
각종 기판 등에 전자가 흐르는 무늬를 새기는
새로운 패터닝 기법이 개발됐습니다.


이 기법은 반도체, 플랙시블 액정 등에 사용되는 기판에 필요한
미세한 패턴을 쉽고 값싸게 만들 수 있는 기술로 평가돼
차세대 전자산업 발전에 큰 도움이 될 것으로 기대되고 있습니다.


이현동 기자의 보돕니다.
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(기사 본문)
현재 쓰이는 반도체 기판 생성 기술은 전자빔이나 포토 리소그래피.


전자소자에 나노미터 수준의 원하는 패터닝을
정확한 위치에 할 수 있습니다.


하지만 오래 걸리는 공정 과정과
고가 장비로 인한 높은 단가는 풀어야할 과제입니다.


이러한 단점을 극복하기 위해 현재 액체를 이용한
다양한 패터닝 기술이 연구 중에 있습니다.


문제는 액체 제어 등 다양한 변수들로 인해 패터닝 기술에서 중요한
정확도를 높이는 것이 쉽지 않다는 것.


유니스트 연구진이 이러한 문제를 해결했습니다.


기판에 필요한 물질을 섞은 액체를 미세유체장치를 통해
자연 증발시켜 규칙적으로 연결된 2차원 패턴을 손쉽게 만든 것입니다.


인터뷰-김태성/UNIST 기계항공 및 원자력공학부 교수
"저희가 미세 유체 칩이라는 새로운 플랫폼을 써서 거품과 거품 사이의 간섭을 배제해주면서 이 거품의 성질을 잘 이용을 하고 제어를 통해서 원하는 패턴을 만들 수 있는 기술을 개발했다는 것이."


단일 공정만으로 나노 입자와 유기물을 포함한 다양한 물질에
수백 나노미터 수준의 해상도로 규칙적인 나노선 네트워크를
증착할 수 있습니다.


특히 기판은 유연하고 대면적으로 쉽게 제작이 가능한데다
제작시간도 몇 분이면 충분해 글로벌 반도체 시장에서도
주목받고 있습니다.


인터뷰-배주열/UNIST 기계공학과 박사과정 연구원
"깎는 방식의 포토리소그래피와 다르게 이번에 개발된 기술은 값싸고 저렴해서 향후 글로벌 반도체 시장에서 큰 우위를 점할 수 있을 것으로 기대됩니다."


우리 주변에서 흔히 볼 수 있는 거품의 구조를 이용한 패터닝 기술.


ST-이현동 기자
이번에 개발한 패터닝 기술은 전통적 리소그래피 기술로는
쉽게 만들 수 없었던 미래형 웨어러블 장치나
센서 개발에도 유용할 것으로 기대되고 있습니다.
JCN뉴스 이현동입니다.